ulvac真空計(jì)的故障排除

使用注意事項(xiàng)

1.由于靈敏度是用氮?dú)庑?zhǔn)的，如果殘留氣體的主要成分不是氮?dú)?，則顯示值與實(shí)際壓力不同。

2.當(dāng)測(cè)量含有氧氣或水蒸氣的氣體時(shí)，燈絲會(huì)迅速反應(yīng)并劣化。
   為了減少消耗，要么降低發(fā)射電流，要么使用具有三層涂層表面的燈絲。

3.在測(cè)量10 -4 Pa 或更低的壓力時(shí)，需要對(duì)探頭本身進(jìn)行脫氣。
   開(kāi)始脫氣時(shí)，大量釋放的氣體會(huì)增加壓力，反過(guò)來(lái)可能會(huì)污染探頭。請(qǐng)務(wù)必在 10 -4 Pa 以下進(jìn)行脫氣。

4.請(qǐng)注意，在高壓（三極管型：10 -1 Pa 或更高）下連續(xù)使用會(huì)導(dǎo)致燈絲快速磨損，從而無(wú)法獲得恒定的發(fā)射電流。

故障檢查清單

1.探頭燈絲不亮
2.探頭燈絲發(fā)出異常光（燈絲瞬間亮后熄滅54.燈絲亮但不顯示壓力
3.比平時(shí)亮）指示值波動(dòng)6.指示值與預(yù)期壓力明顯不同7.未輸出設(shè)定值信號(hào)

1.寫(xiě)筆燈絲不亮

2.探頭燈絲發(fā)出異常光（比平時(shí)亮）

3.燈絲亮但不顯示壓力

4.燈絲亮片刻，然后快速熄滅

5.指標(biāo)波動(dòng)

6.指示值與預(yù)期壓力有顯著差異

7.無(wú)設(shè)定點(diǎn)信號(hào)輸出

8.停止發(fā)射電流流動(dòng)的原因及對(duì)策